產品詳情
產品概述
深空創想專為真空環境研發的特種減速機,采用超低出氣材料與全密封結構,確保在10?3Pa及以上真空度環境中穩定運行,實現潔凈、精準的動力傳輸。
核心技術
真空密封設計:全焊接殼體與磁流體軸封技術
- 低釋氣材料:不銹鋼齒輪與特種工程塑料組合
- 潔凈潤滑方案:固體潤滑或全氟聚醚真空潤滑脂
- 熱管理設計:優化散熱結構,適應真空熱環境

性能參數
- 真空兼容性:10?3Pa~10??Pa工作范圍
- 出氣率控制:<10?1? Pa·m3/s
- 工作溫度:-30℃~+120℃(可擴展)
- 防護等級:IP65等效密封性能
- 傳動精度:≤5弧分背隙(可選更高精度)
主要應用場景
- 半導體制造:晶圓傳輸機械臂、真空閥門驅動
- 真空鍍膜設備:基片旋轉臺、擋板傳動機構
- 科研儀器:電子顯微鏡樣品臺、真空分析設備
- 航天領域:空間環境模擬設備、真空測試裝置
選型建議
1. 環境評估
- 明確工作真空度等級
- 確認環境溫度范圍
- 評估污染控制要求
2. 技術匹配
- 根據負載扭矩選擇規格
- 考慮安裝空間限制
- 確定連接接口形式
3. 特殊需求
- 是否需要烘烤功能
- 清潔度等級要求
- 認證標準需求
服務支持
- 提供真空環境性能測試報告
- 支持定制化設計與特殊認證
- 專業技術團隊提供應用指導
- 完善的售后服務體系
深空創想專業真空減速機——在潔凈純凈環境中,提供穩定可靠的精密傳動,助力您的真空系統高效運行。




