步進電機驅動控制過程闡述
步進電機的驅動控制系統中，微調電容及耦合環都采用步進電機驅動控制。微調電容步進電機驅動器FMSTEPDRIVE基本控制方式為采用RS-422標準的差分脈沖。
步進運行時，由工控機I/O口發出步進脈沖；連續運行時，工控機I/O口發出連續脈沖使能信號，打通驅動脈沖發生電路上的振蕩器連續脈沖輸出，步進或連續脈沖信號經單穩觸發器整形為占空比50%的方波，由采用RS-422標準的差分驅動器驅動送入步進電機驅動器驅動步進電機運動。
微調電容的驅動重點在于保證步進精度（步進分辨率）。根據微調電容滾珠絲杠導程及最小步距的要求，將FMSTEPDRIVE細分設置為10000細分/轉（步距0.036b），并以兩個脈沖（相當于直線位移0.4um）為循環步距。
實際工作時，當微調電容需作步進驅動時，系統工控機每個循環周期通過其I/O口連續發出二個脈沖，通過步進電機驅動器驅動電機做步進（0.4um）運動。并根據微調電容直線感應同步器實際直線位置反饋決定步進電機的轉停，直至完成該步距運動。
連續運行時，驅動按鍵按下后，工控機通過I/O口發出連續脈沖使能信號，打通振蕩器的連續脈沖輸出，步進電機驅動器驅動步進電機連續運動。驅動按鍵松開后，工控機通過I/O口關閉連續脈沖使能信號，步進電機將停止轉動，完成連續驅動操作。
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